美质疑顶尖光刻机流入中国 ASML强烈否认

【新唐人北京时间2026年06月20日讯】芯片设备制造商阿斯麦(ASML)周五表示,公司从未向中国运送极紫外(EUV)光刻机。此前有报道称,美国官员担心该公司最先进的工具之一可能已流入中国。

彭博新闻社报道称,美国商务部长卢特尼克(Howard Lutnick)曾提出担忧,认为阿斯麦的极紫外光刻机可能已流入中国,违反了美国主导的出口限制。

对此,阿斯麦在声明中强烈反驳:“阿斯麦从未向中国运送过任何一台EUV光刻机,也从未向中国运送过专门设计用于极紫外光刻机的任何组件、模块或设备。”公司强调,其“一直根据出口管制的任何新变化来调整其业务,以遵守任何新规则”。

据悉,阿斯麦最先进的极紫外系统体型大约相当于一辆校车,重达180吨。

针对此番风波,荷兰外交部在给路透社的声明中力挺阿斯麦,表示在半导体设备出口方面,荷兰根据《欧盟两用物项条例》及额外的国家措施,执行明确的规则和管制清单,所有相关设备和技术都需要获得许可证,且官方执行非常严格。

华盛顿方面的焦虑由来已久。今年4月,美国提出了一项法案,要求盟友与本国的出口管制保持一致,以限制中国制造先进半导体的能力,该立法中明确点名了阿斯麦制造的设备。

而路透社曾于去年12月报道称,中国科学家已经研制出了一台极紫外光刻机的原型机,这个研发团推的骨干成员包括一直由前阿斯麦工程师组成的团队。

报道说,这些成熟技术人员的加入,极大地加速了中国本土光刻机技术的迭代。此前,中国只能制造较落后的深紫外光刻机,而最先进的、用于制造3nm/5nm芯片的极紫外光刻机被美国和荷兰联合全面封锁。

《新闻直击》制作组

(责任编辑:刘明)

相关文章
评论
抱歉,评论功能暂时关闭!