【新唐人北京時間2026年06月20日訊】芯片設備製造商阿斯麥（ASML）週五表示，公司從未向中國運送過極紫外（EUV）光刻機。此前有報道稱，美國官員擔心該公司最先進的工具之一可能已流入中國。
彭博新聞社報道稱，美國商務部長盧特尼克（Howard Lutnick）曾提出擔憂，認為阿斯麥的極紫外光刻機可能已流入中國，違反了美國主導的出口限制。
對此，阿斯麥在聲明中強烈反駁：「阿斯麥從未向中國運送過任何一台EUV光刻機，也從未向中國運送過專門設計用於極紫外光刻機的任何組件、模塊或設備。」公司強調，其「一直根據出口管制的任何新變化來調整其業務，以遵守任何新規則」。
據悉，阿斯麥最先進的極紫外系統體型大約相當於一輛校車，重達180噸。
針對此番風波，荷蘭外交部在給路透社的聲明中力挺阿斯麥，表示在半導體設備出口方面，荷蘭根據《歐盟兩用物項條例》及額外的國家措施，執行明確的規則和管制清單，所有相關設備和技術都需要獲得許可證，且官方執行非常嚴格。
華盛頓方面的焦慮由來已久。今年4月，美國提出了一項法案，要求盟友與本國的出口管制保持一致，以限制中國製造先進半導體的能力，該立法中明確點名了阿斯麥製造的設備。
而路透社曾於去年12月報道稱，中國科學家已經研製出了一台極紫外光刻機的原型機，這個研發團推的骨幹成員包括一直由前阿斯麥工程師組成的團隊。
報道說，這些成熟技術人員的加入，極大地加速了中國本土光刻機技術的迭代。此前，中國只能製造較落後的深紫外光刻機，而最先進的、用於製造3nm/5nm芯片的極紫外光刻機被美國和荷蘭聯合全面封鎖。
《新聞直擊》製作組
（責任編輯：劉明）
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