电子显微镜 锁定奈米制程检测

【新唐人2013年11月28日讯】因应业界对于的奈米制程检测需求，测试设备大厂爱德万测试(Advantest)推出多功能整合量测扫描式电子显微镜系统。预计相关新品将在明年6月上市。

据中央社报导，爱德万测试表示，电子显微镜新品在功能上，拥有图样缺陷检测能力，可支援业界将面临的1X奈米制程。

电子显微镜新品除了可以应用在标准半导体微影光罩检测上，也可以为下一代微影基板，如EUV光罩、NIL母模等，提供所需的量测功能。

这一新品的专利运算技术和多重侦测器配置设定，对于即时3D观察量测与识别量测可带来极大的方便，比如，针对图样宽度、高度与侧边壁面角度的量测。

爱德万测试认为，半导体产业在短期内将进入1X奈米制程量产阶段，业界对于超小尺寸元件高稳定性、高精准度图样缺陷检测能力的需求，将大幅提高。