三合一测量器 薄膜科技新革命

【新唐人2012年7月3日讯】（中央社记者许秩维台北3日电）相机、智慧型手机等3C产品，都需薄膜技术和检测仪器来监控品质，但仪器动辄要价新台币数百万元。中央大学团队研发“三合一”薄膜测量器，可帮助厂商硬体设备年省数百万元。

中央大学理学院长李正中领导的团队研发“三合一”薄膜测量器，一台检测仪可同时检测薄膜厚度、折射率和表面轮廓，大幅降低成本并节省作业时间，且不破坏样品。研究成果去年发表在2011年国际光学期刊“Optics Letter”，仪器也在今年6月台北国际光电展中展出。

李正中指出，相机、摄影机、3C产品，甚至是人造卫星等需要光学元件的产品，都需要薄膜技术，但镀膜后更需要量测，才能确保品质。

他提到，过去量测薄膜的表面轮廓、薄膜厚度及折射率等数据，必须依靠仪器检测，但每台只能量测1或2项功能，且要价数百万元，因此必须购买多台仪器，既不经济也耗费时间。

研究团队根据光学原理，完成可垂直取得薄膜与基板表面的反射相位，并完成三合一量测的实验仪器。在不破坏样品下，仪器就可量测薄膜厚度、折射率和表面轮廓，同时有抗震动的优点，可用于生产线上检测。

李正中指出，“三合一”薄膜测量器结合3项量测功能，可节省成本、时间，可说是薄膜科技的革命性改革。现在正申请台湾、美国和日本的专利，也吸引不少国外厂商来洽谈，他希望有机会能和国内厂商合作，相信在硬体设备上可为厂商年省数百万元。